| 초록 |
본 발명은 웨이퍼와 같은 물체(20)의 영역에서, 비아들과 같은 상기 물체(20)로 둘러싸인 구조들(70a, 70b, 70c)의 존재를, 영상 센서(22), 상기 영상 센서(22) 상에 시야에 있어서 상기 물체(20)의 영상(73, 74)을 생성할 수 있는 광학적 영상 수단(34), 및 조명 빔(25, 30)을 생성하고 또한 반사로 상기 시야를 조명하기 위한 조명 수단(23, 27)을 이용해, 검사하기 위한 영상 방법에 있어서, 그 스펙트럼 내용이 상기 물체(20)의 특성에 맞아 상기 빔(25, 30)의 광이 상기 물체(20)로 관통할 수 있는 제1조명 빔(25, 30)을 가지고 상기 물체(20)를 조명하는 것에 의해 상기 물체(20)의 제1영상(73)을 획득하는 단계; 그 스펙트럼 내용이 상기 물체(20)의 특성에 맞아 상기 빔(25 30)의 광이 상기 물체(20)의 표면에 의해 반사되는 제2조명 빔(25, 30)을 가지고 상기 물체(20)를 조명하는 것에 의해 상기 물체(20)의 제2영상(74)을 획득하는 단계; 및 상기 제1 및 제2 영상들(73, 74)을 비교하여, 상기 제1영상(73)에 나타나지만 상기 제2영상(74)에 나타나지 않는 구조들(71a)을 확인하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 영상 방법 및 장치에 관한 것이다. |
