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무선주파수 집적 수동소자용의 무선주파수 손실이 감소된 고저항 실리콘 기판

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기관명	NDSL
출원인	옥메틱 오와이제이
출원번호	10-2016-7016583
출원일자	2016-06-21
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 무선주파수 집적 수동소자용의, 무선주파수 손실이 감소된 고저항 실리콘 기판(100)에 관한 것이다. 상기 기판은 고저항 벌크 실리콘을 포함하는 벌크 영역(110)을 포함하고, 보존된 표면하부 격자 손상 영역(120b)은 벌크 영역 위에서 균열된(fractured) 실리콘을 포함한다. 격자 손상 영역은 기판에 가공되며, 보존된 표면하부 격자 손상 영역은 기생 표면 전도(parasitic surface conduction)를 억제함으로써 기판의 RF 손실 감소를 달성하도록 구성된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016583
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