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정전척, 챔버 및 정전척의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	베이징 엔엠씨 씨오., 엘티디.
출원번호	10-2016-7016577
출원일자	2016-06-21
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 정전척, 챔버 및 정전척의 제조 방법에 관한 것이다. 정전척은 상부에 히터(20) 및 히터(20)의 상부에 설치되고 내부에 정전 인력을 발생시키는 전극이 설치되어 있는 절연층(30)이 설치되어 있는 척 베이스(10)을 포함하고, 척 베이스(10)와 히터(20) 사이에 중첩되게 설치되어 단열층(40)을 구성하는 단열층 시트 자재를 더 포함하며, 이에 따라, 또한 대응되는 챔버를 제공한다. 정전척, 챔버 및 정전척의 제조 방법은, 단열 접착층의 평탄성을 확보하기 어렵고 진공 누설이 발생하기 쉬운 문제를 효과적으로 해결하고, 아울러 가공의 복잡 정도를 저하시킬 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016577
첨부파일

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