정의된 투여하는 대기의 온도 및 압력 증기 증착 시스템
기관명 | NDSL |
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출원인 | 다이아몬 퓨전 인터내셔널 인코포레이티드 |
출원번호 | 10-2015-7033332 |
출원일자 | 2015-11-23 |
공개번호 | 20160303 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 화학 증기 증착 시스템으로 액체 화학 물질에서 활동적인 성분들을 나르는 데 사용되는 차단된 화학 물질 도입 시스템은 액체 화학 물질의 정의된 정량을 보유한 강하고, 수분-자유의 카트리지를 포함한다. 카트리지는 카트리지를 받도록 특별히 구성된 장착 슬롯 상에 놓인다. 시스템이 시작함에 따라, 제1 선형의 기계적인 액츄에이터는 슬롯에서 카트리지를 단단히 지지하고, 반면에 제2 선형의 기계적인 액츄에이터에 부착된 추출 랜스는 바닥으로부터 카트리지를 천공하고, 액체 추출 물질을 추출하고 그것을 기화 챔버로 나른다. 기화 챔버는 액체 화학 물질을 기화시키고 화학 증기 증착 시스템으로 활동적인 성분들을 보유한 증기들을 나른다. 화학 증기 증착 시스템은 처리 챔버, 컨베이어, 챔버 내에서 분리된 처리 구획부들을 제공하기 위한 압축 청소 공기 시스템, 수분 시스템, 화학 증기 시스템 그리고 해로운 부산물들을 중화시키는 중화 시스템을 포함할 수 있다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157033332 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | C23C-016/44,C23C-016/448,C23C-016/455,C23C-016/52,C23C-016/54 |
주제어 (키워드) |