| 초록 |
본 발명은 레이저 방사선(100)을 균일화하기 위한 장치에 관한 것이며, 상기 장치는, 레이저 방사선(100)이 관통해서 제 1 렌즈 어레이(1) 내로 입사될 수 있도록 하는 제 1 광학 기능 경계면(10)과 레이저 방사선(100)이 관통해서 제 1 렌즈 어레이(1)에서 출사될 수 있도록 하는 제 2 광학 기능 경계면(11)을 구비하고, 두 광학 기능 경계면(10, 11) 중 적어도 하나는 레이저 방사선(100)을 복수의 부분 빔(101, 102, 103)으로 분할하기에 적합한 복수의 렌즈 수단(3)을 구비하는, 제 1 렌즈 어레이(1)와; 부분 빔들(101, 102, 103)이 관통해서 제 2 렌즈 어레이(1) 내로 입사될 수 있도록 하는 제 1 광학 기능 경계면(20)과 부분 빔들(101, 102, 103)이 관통해서 제 2 렌즈 어레이(2)에서 출사될 수 있도록 하는 제 2 광학 기능 경계면(21)을 구비하고, 빔 경로에서 제 1 렌즈 어레이(1)의 하류에 배열되며, 두 광학 기능 경계면(20, 21) 중 적어도 하나는 부분 빔들(101, 102, 103)을 굴절시킬 수 있는 복수의 렌즈 수단(4)을 구비하는, 제 2 렌즈 어레이(2)를; 포함하며, 제 1 렌즈 어레이(1)의 렌즈 수단들(3)은, 부분 빔들(101, 102, 103)이 제 2 렌즈 어레이(2)의 렌즈 수단들(4)을 실질적으로 균일한 방식으로 조명할 수 있는 방식으로 레이저 방사선(100)을 복수의 부분 빔(101, 102, 103)으로 분할할 수 있으면서 그렇게 되도록 상기 복수의 부분 빔을 형성할 수 있도록 형성된다. |
