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기판 처리 장치

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기관명	NDSL
출원인	세메스 주식회사
출원번호	10-2014-0184855
출원일자	2014-12-19
공개번호	20150226
공개일자	2015-11-20
등록번호	10-1570167-0000
등록일자	2015-11-12
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 기판을 세정하는 기판 처리 장치에 관한 것으로, 본 발명은 기판이 놓여지는 스핀 헤드를 포함하는 기판지지부재; 상기 스핀 헤드 주위를 감싸도록 설치되어 기판상에서 비산되는 처리유체를 회수하는 처리 용기; 및 스윙 방식으로 회전 운동하며 처리유체를 분사하는 이동 노즐 부재를 포함하되; 상기 스핀 헤드는 기판을 지지하는 지지핀들과 기판 가장자리를 척킹하는 척킹핀들을 포함하고, 상기 지지핀은 상기 스핀 헤드 및 상기 처리 용기의 세정 및 건조시 기류를 발생시키기 위한 날개를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020140184855
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