| 초록 |
산소 및 수증기에 대한 노출로부터 하부에 놓인 층들을 보호하거나 광학적 기능들을 제공하는, 중합체 또는 다른 재료들상에 다층 구조물들을 형성하기 위한 방법이 개시된다.신규한 디바이스들이 또한 개시되며, 이는 다층 보호 구조물들 및 AMOLED, OLED 라이팅(lighting) 및 광전지 디바이스들 양자 모두를 포함할 수 있다.보호 다층 구조물 자체는 상이한 밀도 또는 조성을 갖는 재료의 매우 얇은 적어도 3개의 층들을 기판상에 연속 증착함으로써 만들어질 수 있다.이러한 막의 증착을 위한 일부 방법들에서, 층들은 막의 유닛 두께 당 이온 충격의 에너지를 변화시킴으로써 증착된다.구조물의 임의의 층은, 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 실리콘 산질화물, 또는 금속성 질화물 또는 산화물의 재료들 중 하나 또는 그 초과의 것을 포함할 수 있다.이로부터 이득을 얻는 특정한 상업적 애플리케이션들은 라이팅 및 디스프레이들을 포함하여 광전지 디바이스들 또는 유기발광 다이오드 디바이스들(OLED)을 제조하는 것을 포함한다. |
