| 초록 |
표면 처리기기용 분리 장치로서, 적어도 하나의 제 1 사이클론을 포함하는 제 1 사이클론 분리 유닛, 상기 제 1 사이클론 분리 유닛으로부터 유체적으로 하류에 위치되는, 그리고 제 1 축선(Y)의 주위에 유체적으로 평행하게 복수의 제 2 사이클론을 포함하는 제 2 사이클론 분리 유닛을 포함하고, 여기서 복수의 제 2 사이클론은 상기 축선의 주위에 배치되는 적어도 하나의 제 1 세트의 제 2 사이클론 및 축선(Y)의 주위에 배치되는 제 2 세트의 제 2 사이클론으로 그룹화된다.제 1 세트의 제 2 사이클론 내의 각각의 사이클론은 종축선(C1)을 한정하고, 그리고 유체 유입구 및 유체 유출구를 포함하고, 그리고 제 2 세트의 제 2 사이클론 내의 각각의 사이클론은 종축선(C2)을 한정하고, 유체 유입구 및 유체 유출구를 포함한다.제 1 세트의 제 2 사이클론의 유체 유입구는 제 2 세트의 제 2 사이클론의 유체 유입구로부터 축선을 따라 이격되고, 그리고 제 1 세트의 제 2 사이클론 내의 사이클론의 각각의 유출구와 제 2 세트의 제 2 사이클론 내의 사이클론의 각각의 유출구는 유출 덕트와 유체 연통상태에 있고, 여기서 유출 덕트는 적어도 제 1 세트의 제 2 사이클론의 2 개의 사이클론 사이에 연장되는 제 1 부분을 포함한다. |
