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처리액 공급 장치, 처리액 공급 방법 및 기억 매체

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2016-0018598
출원일자	2016-02-17
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	처리액의 공급을 행하면서, 처리액의 물성 또는 처리액 공급부의 특성에 따라 처리액의 유량 조절 기구를 동작시키는 조작량을 적절히 조절하는 기술을 제공한다. 기판(W)에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치에 있어서, 처리액 공급부는, 조작량에 따라 처리액의 유량을 조절하는 유량 조절 기구(402)를 개재하여 기판(W)을 향해 처리액을 토출 공급하고, 유량 검출부(403)는 기판(W)에 공급되는 처리액의 유량을 검출한다. 시스템 동정부(181)는, 상기 처리액 공급부의 시스템 모델에 따른 시스템 파라미터의 결정을 행하고, 유량 제어부(182)는 상기 시스템 파라미터를 이용하여 유량 조절 기구의 새로운 조작량을 결정한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160018598
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