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액침 리소그래피 머신 내에서 웨이퍼 교환 동안 광학 어셈블리에 인접하게 액침 유체를 유지하기 위한 장치 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2015-7036015
출원일자	2015-12-18
공개번호	20160114
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	장치 및 방법들은 광학 어셈블리에 인접한 공간 내에 액침 액체를 유지한다. 광학 어셈블리는 기판 테이블에 의해 광학 어셈블리에 인접하게 지지된 기판 상에 이미지를 투영한다. 광학 어셈블리와 기판, 기판 테이블 또는 양자 사이의 공간에 삽입가능한 삽입 부재는 제 1 부분과 제 2 부분으로 액침 액체를 분할하며, 제 1 부분은 광학 어셈블리와 삽입 부재 사이에 배치되고, 제 2 부분은 삽입 부재와 기판, 기판 테이블 또는 양자 사이에 배치된다. 삽입 부재는 광학 어셈블리에 인접하게 배치된 곳으로부터 떨어져 기판이 이동될 때, 제 1 부분과 접촉하게 광학 어셈블리를 유지한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157036015
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