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나노구조의 임계 치수에 대한 광학 측정 시스템 및 측정 방법

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기관명	NDSL
출원인	삼성전자주식회사
출원번호	10-2015-0088724
출원일자	2015-06-22
공개번호	20160519
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	개시된 광학 측정 시스템은 광학계를 포함하며, 샘플에 조명을 비추고, 상기 샘플의 나노구조면의 디포커스 이미지를 기록하는 광학 모듈; 상기 광학계를 구성하는 광학 변수들을 설정하는 광학계 변수 제어 모듈; 광학적 전달함수(optical transfer function, OTF)를 측정하는 광학적 전달함수 측정 모듈; 상기 측정된 광학적 전달함수 및 상기 광학 변수가 포함된 디포커스 이미지를 연산하는 디포커스 이미지 연산 모듈; 및 상기 샘플의 나노구조면에 대하여 상기 기록된 디포커스 이미지와 상기 연산된 디포커스 이미지를 비교하여, 상기 나노구조면의 임계 치수 값을 출력하는 임계 치수 평가 모듈;을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150088724
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