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멀티-전극 전자 광학

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기관명	NDSL
출원인	마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
출원번호	10-2016-7015702
출원일자	2016-06-13
공개번호	20160721
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 콜리메이터 전극 스택(70)에 관한 것으로, 이 콜리메이터 전극 스택(70)은, 광학 축(A)을 따라 하전 입자 빔을 콜리메이팅하기 위한 적어도 3개의 콜리메이터 전극들(71-80) ―각각의 콜리메이터 전극은, 하전 입자 빔에 대한 통과를 허용하기 위한 전극 어퍼처를 갖는 전극 바디를 포함하며, 전극 바디들은 광학 축과 실질적으로 평행한 축 방향(Z)을 따라 이격되며, 전극 어퍼처들은 광학 축을 따라 동축으로 정렬됨―; 축 방향을 따라 미리 결정된 거리들에 콜리메이터 전극들을 포지셔닝시키기 위해, 각각의 쌍의 인접한 콜리메이터 전극들 사이에 제공되며 전기적으로 절연성인 물질로 만들어진 복수의 스페이싱 구조물들(89)을 포함한다.콜리메이터 전극들(71-80) 각각은 개별 전압 출력(151-160)에 전기적으로 연결된다.본 발명은 추가로, 하전 입자 빔 생성기를 동작시키는 방법에 관한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167015702
첨부파일

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