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특허/실용신안

밀폐된 환경들을 위한 위치 피드백

특허 실용신안 개요

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명 NDSL
출원인 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
출원번호 10-2016-7015689
출원일자 2016-06-13
공개번호 20160714
공개일자 0000-00-00
등록번호
등록일자 0000-00-00
권리구분 KUPA
초록 하우징; 상기 하우징에 장착된 드라이브; 및 상기 드라이브에 연결된 적어도 하나의 이송 아암을 포함하고, 상기 드라이브는 적어도 하나의 회전자, 적어도 하나의 고정자, 적어도 하나의 밀봉 파티션, 및 적어도 하나의 센서를 포함하고, 상기 적어도 하나의 회전자는 투자성 물질의 돌극을 적어도 하나 갖고 격리된 환경 내에 배치되고, 상기 적어도 하나의 고정자는 적어도 하나의 돌극 및 그에 대응되는 코일 유닛들을 가지며 상기 격리 환경의 외부에 배치되고, 상기 적어도 하나의 고정자의 상기 적어도 하나의 돌극과 상기 적어도 하나의 회전자의 상기 적어도 하나의 돌극은 상기 적어도 하나의 고정자와 상기 적어도 하나의 회전자 사이에서 폐쇄된 자속 회로를 형성하고, 상기 적어도 하나의 밀봉 파티션은 상기 격리된 환경을 격리하도록 구성되고, 상기 적어도 하나의 센서는 상기 하우징에 연결된 자성 센서 부재 및 상기 적어도 하나의 회전자에 연결된 적어도 하나의 센서 트랙을 포함하고, 상기 적어도 하나의 센서 트랙이 상기 격리된 환경 내에 배치되고 상기 자성 센서 부재가 상기 격리된 환경의 외부에 배치되도록, 상기 적어도 하나의 밀봉 파티션은 상기 자성 센서 부재와 상기 적어도 하나의 센서 트랙 사이에 배치되며 상기 자성 센서 부재 및 상기 적어도 하나의 센서 트랙을 분리하는 이송 장치.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167015689
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE H01L-021/677,H01L-021/66,H01L-021/67
주제어 (키워드)