| 초록 |
하전 입자빔 묘화 장치는, 버퍼 메모리와 분할부와 영역 지정부와 데이터 처리부와 묘화부를 구비한다. 버퍼 메모리는, 묘화되는 묘화 영역이 가상 분할된 데이터 처리 영역마다 복수의 데이터 파일을 가지는 묘화 데이터를 일시적으로 저장하는, 복수의 데이터 처리 영역분의 묘화 데이터를 동시기에 저장 가능한 메모리 영역을 가진다. 분할부는, 버퍼 메모리의 메모리 영역을, 영역 사이즈가 큰 제1 영역과 영역 사이즈가 작은 제2 영역으로 분할한다. 영역 지정부는, 데이터 처리 영역마다 복수의 데이터 파일을 가지는 묘화 데이터 중, 파일 사이즈가 큰 데이터 파일을 제1 영역 내에 우선하여 저장하고, 또한 파일 사이즈가 작은 데이터 파일을 제2 영역 내에 저장하도록, 버퍼 메모리의 메모리 영역을 지정한다. 데이터 처리부는, 데이터 처리 영역마다, 대응하는 복수의 데이터 파일을 버퍼 메모리로부터 독출하고, 독출된 복수의 데이터 파일을 이용하여 데이터 처리를 행한다. 묘화부는, 데이터 처리 영역마다, 데이터 처리된 데이터 내용에 따라, 하전 입자빔을 이용하여 시료에 패턴을 묘화한다. |
