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블록-투-블록 레티클 검사

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7007540
출원일자	2016-03-22
공개번호	20160428
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	블록-투-블록 레티클 검사는, 레티클 검사 서브-시스템으로 레티클의 부분의 스워스 이미지(swath image)를 취득하는 단계, 스워스 이미지에서 블록의 제 1 발생 및 스워스 이미지에서 블록의 제 1 발생과 실질적으로 유사한 블록의 적어도 제 2 발생을 식별하는 단계, 및 위치, 블록의 하나 이상의 기하학적 특성들 및 블록의 제 1 발생과 블록의 적어도 제 2 발생 간의 공간적 오프셋 중 적어도 하나를 결정하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167007540
첨부파일

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