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플라즈마 특성을 모니터링하는 웨이퍼 형태의 진단 기구 및 이를 이용하는 진단 시스템

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기관명	NDSL
출원인	삼성전자주식회사
출원번호	10-2013-0111395
출원일자	2013-09-16
공개번호	20150326
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	플라즈마 특성을 모니터링하는 기구 및 시스템가 제공된다. 이 기구는 하우징 그리고 하우징 내에 배치되는 센서 어레이, 신호 처리부, 데이터 전송 유닛, 및 제어 유닛을 포함할 수 있다. 센서 어레이는 하우징 내에 2차원적으로 배열되되, 플라즈마 내에 존재하는 하전 입자와의 전기적 상호 작용을 차단하는 차폐막을 구비하는, 복수의 측정 센서들을 포함하고, 신호 처리부는 측정 센서들에서 생성되는 전기적 신호를 처리하여 측정 데이터를 생성하도록 구성되고, 데이터 전송 유닛은 측정 데이터를 외부로 전송하도록 구성될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020130111395
첨부파일

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