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샘플 내 응력변형 분포 결정 방법 및 시스템

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기관명	NDSL
출원인	노바 메주어링 인스트루먼츠 엘티디.
출원번호	10-2016-7003561
출원일자	2016-02-11
공개번호	20160317
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	샘플의 하나 이상의 파라미터 측정에 사용하기 위한 제어 시스템이 제공된다. 상기 제어 시스템은 입력 유틸리티 및 프로세서 유틸리티를 포함한다. 입력 유틸리티는, 샘플 내 물질 분포를 나타내는 샘플의 X-선 회절 또는 고해상도 X-선 회절(XRD) 응답 데이터를 포함하는 제 1 데이터와, 적어도 상기 샘플의 기하구조를 나타내는, 입사광에 대한 샘플의 광학적 응답 데이터를 포함하는 제 2 데이터를 포함하는 입력 데이터를 수신하도록 구성된다. 상기 프로세서 유틸리티는, 상기 제 1 및 제 2 데이터 중 하나를 최적화시키기 위해 상기 제 1 및 제 2 데이터 중 다른 하나를 처리 및 분석하도록 구성 및 작동가능하고, 그리고, 상기 최적화된 데이터를 이용하여 샘플 내 응력변형 분포를 포함한 상기 샘플의 하나 이상의 파라미터를 결정하도록, 구성 및 작동가동하다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167003561
첨부파일

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