| 초록 |
다이어프램 밸브 (10) 에서는, 맞닿음부 (33a) 는, 유로 (24) 의 유통 방향 (X) 에 대해 수직인 평면에 있어서 개구부 (31a) 측에 오목한 형상으로 만곡한 제 1 본체측 만곡부 (71) 및 제 2 본체측 만곡부 (72) 를 포함한다. 컴프레서 (61) 는, 유통 방향 (X) 에 대해 수직인 평면에 있어서 맞닿음부 (33a) 측에 볼록한 형상으로 만곡한 제 1 가압측 만곡부 (81) 및 제 2 가압측 만곡부 (82) 를 갖는다. 컴프레서 (61) 에 의해 다이어프램 (12) 이 맞닿음부 (33a) 로 가압된 상태에 있어서, 제 1 본체측 만곡부 (71) 는 제 1 가압측 만곡부 (81) 와 대향하며, 제 1 본체측 만곡부 (71) 의 만곡의 중심 (71a) 은, 제 1 가압측 만곡부 (81) 의 만곡의 중심 (81a) 과 일치하고, 제 2 본체측 만곡부 (72) 는 제 2 가압측 만곡부 (82) 와 대향하며, 제 2 본체측 만곡부 (72) 의 만곡의 중심 (72a) 은, 제 2 가압측 만곡부 (82) 의 만곡의 중심 (82a) 과 일치한다. |
