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박막 제조를 위한 습식 방법

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2016-7011015
출원일자	2016-04-26
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 전이 금속 산화물 전구체, 킬레이트제 및 극성 유기 용매를 함유하는 용액을 제조하는 단계, 졸을 형성하기 위해 용액을 교반 하에 유지하는 단계, 및 졸을 전이 금속 산화막 형태로 사용하는 단계를 포함하는, 박막 제조 방법에 관한 것이다. 이 방법은 킬레이트제가 디- 또는 트리- 지방족 카르복실산, 또는 그 염 또는 혼합물 중에서 선택되고, 극성 유기 용매가 대기압에서 150℃ 미만의 비등점을 갖는 것을 특징으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167011015
첨부파일

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