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미세 구조물이 형성된 기판의 DLC 코팅 방법 및 이 방법에 의해 형성된 미세 구조물이 형성된 기판

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기관명	NDSL
출원인	한국기계연구원
출원번호	10-2012-0108889
출원일자	2012-09-28
공개번호	20140417
공개일자	2015-08-28
등록번호	10-1546361-0000
등록일자	2015-08-17
권리구분	KPTN
초록	미세 구조물이 형성된 기판을 물리증착(PVD: Physical Vapor Deposition) 또는 화학증착(CVD: Chemical Vapor Deposition)에 의해 DLC(Fluorine-doped diamond-like carbon)로 코팅하는 단계;를 포함하며, 상기 코팅하는 단계는, 미세 구조물이 형성된 상기 기판이 위치된 물리적 또는 화학적 기상증착(PVD 또는 CVD)시스템에, 플루오르(F) 원소가 포함된 가스와 탄소원 가스가 혼합된 혼합 가스를 주입하고, 이온 건이나 플라즈마로 상기 혼합 가스를 분해시킴으로써, DLC 코팅을 하는 것을 특징으로 하는 미세 구조물 DLC 코팅 방법이 개시된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020120108889
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