레이저 가공 장치
기관명 | NDSL |
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출원인 | 가부시기가이샤 디스코 |
출원번호 | 10-2016-0002445 |
출원일자 | 2016-01-08 |
공개번호 | 20160808 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 가공 효율을 더욱 높인 레이저 가공 장치를 제공한다. 피가공물(11)을 유지하는 유지 수단(6)과, 레이저 광선(L)을 조사하는 레이저 조사 수단(30)과, 유지 수단과 레이저 조사 수단을 가공 이송 방향으로 상대적으로 이동시키는 가공 이송 수단(8)과, 유지 수단과 레이저 조사 수단을 인덱싱 이송 방향으로 상대적으로 이동시키는 인덱싱 이송 수단(8)과, 각 부의 움직임을 제어하는 제어 수단(44)을 구비하고, 제어 수단은, 유지 수단에 대하여 레이저 조사 수단을 정지시키는 정지 단계에 요하는 시간을 ta, 레이저 광선의 조사 위치를 다음 분할 예정 라인에 맞추는 인덱싱 단계에 요하는 시간을 tb로 하여, tb gt;ta인 경우, 정지 단계와 인덱싱 단계를 동시에 개시하고, 정지 단계가 종료한 후의 인덱싱 단계의 남는 시간(tb-ta)을 이용하여, 유지 수단에 대하여 레이저 조사 수단을 가속시키는 개시 단계를 실시한다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160002445 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H01L-021/78,H01L-021/268,H01L-021/76 |
주제어 (키워드) |