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노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2016-7019636
출원일자	2016-07-19
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	노광 장치 (EX) 는, 소정 패턴의 이미지를 액체 (1) 를 사이에 두고 기판 (P) 에 투영함으로써 기판을 노광한다. 노광 장치는, 투영하는 투영 광학계와, 기판 상의 일부에 액침 영역 (AR2) 을 형성하기 위해서 기판 상에 액체를 공급하는 액체 공급 기구 (10) 를 구비한다. 액체 공급 기구는, 투영 영역 (AR1) 에 대하여 다른 복수의 방향으로 떨어져 있는 복수의 위치에서 기판 (P) 상에 동시에 액체 (1) 를 공급한다. 노광 장치는, 액침 영역을 안정적으로 형성할 수 있음과 함께 이 액체를 양호하게 회수할 수 있고, 주변으로 액체가 유출되는 것 등을 방지하여 높은 정밀도로 노광 처리할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019636
첨부파일

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