높은 질소 함량을 갖는 실리콘 니트라이드 막
기관명 | NDSL |
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출원인 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 |
출원번호 | 10-2020-7002811 |
출원일자 | 2020-01-29 |
공개번호 | 20200206 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 더 높은 질소 함량을 갖는 실리콘 니트라이드 막들을 증착시키기 위한 방법들이 기재된다. 특정 방법들은 기판을 규소-질소 전구체 및 암모니아 플라즈마에 노출시켜 유동성 폴리머를 형성시키고, 이후 폴리머를 경화시켜 실리콘 니트라이드 막을 형성시키는 것을 포함한다. 특정 방법들은 UV-경화 공정의 이용 없이 유동성 폴리머를 경화시킨다. 또한, 상술된 방법들에 의해 생성된 막이 기재된다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020207002811 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | C23C-016/34,C07F-007/10,C23C-016/50,C23C-016/56 |
주제어 (키워드) |