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마그네트론 스퍼터링용 자장 발생 장치

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기관명	NDSL
출원인	히타치 긴조쿠 가부시키가이샤
출원번호	10-2015-7017344
출원일자	2015-06-29
공개번호	20151022
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	직선부 및 코너부로 이루어지는 레이스트랙 형상을 가지고, 비자성체의 베이스 상에, (a) 직선형의 중앙 자극 부재; (b) 상기 중앙 자극 부재를 에워싸도록 설치된 외주 자극 부재; (c) 상기 중앙 자극 부재와 상기 외주 자극 부재와의 사이에 배치된, 타겟면에 대하여 수직인 방향으로 자화된 복수의 수직 영구 자석; 및 (d) 그 양측에 배치된 타겟면에 대하여 평행한 방향으로 자화된 복수의 제1 및 제2 수평 영구 자석;을 포함하고, 상기 제1 및 제2 수평 영구 자석의, 상기 수직 영구 자석에 대향하는 측의 극이, 상기 수직 영구 자석의 타겟 표면에 대향하는 측의 극과 같은 마그네트론 스퍼터링용 자장 발생 장치.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157017344
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