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강유전체 디바이스 및 그 제조방법

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2016-7002136
출원일자	2016-01-25
공개번호	20160404
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	강유전체 디바이스의 특징인 비휘발 기억보유와 다수 회 고쳐쓰기 내성을 가지면서, 종래의 스트론튬과 비스무트와 탄탈의 산화물(Sr-Bi-Ta-O)을 주성분으로 하는 강유전체를 이용한 강유전체 디바이스보다 메모리 윈도우가 넓고, 또한 미세화에 적응한 강유전체 디바이스 및 그 제조방법을 제공한다. 반도체 상에 직접 또는 절연체를 통하여, 적합한 성막원료를 이용한 유기금속 기상성장법으로 성막한 스트론튬과 칼슘과 비스무트와 탄탈의 산화물(Sr-Ca-Bi-Ta-O)을 주성분으로 하는 제1 강유전체와 도체를 적층하고, 에칭 가공한 게이트 스택의 측면에 제2 강유전체와 절연체를 성막한 후에 제1 강유전성을 발현시키기 위한 열처리를 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167002136
첨부파일

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