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분리가능한 웨이퍼 포켓 및 이를 포함하는 웨이퍼 캐리어

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기관명	NDSL
출원인	서울바이오시스 주식회사
출원번호	10-2013-0030674
출원일자	2013-03-22
공개번호	20141002
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	웨이퍼 캐리어 및 웨이퍼 포켓이 개시된다. 화학기상증착(MOCVD) 장치에서 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 캐리어에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어는, 홈부를 갖는 서셉터; 상기 홈부에 배치된 웨이퍼 포켓을 포함하되, 상기 웨이퍼 포켓은 상기 서셉터로부터 분리 가능할 수 있다. 본 발명에 따르면, 웨이퍼 포켓과 서셉터가 서로 분리될 수 있어서, 공정 비용이 절감될 수 있고, 본 발명의 웨이퍼 캐리어를 이용하여 성장된 반도체층의 특성을 용이하게 조절할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020130030674
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