| 기업공감원스톱서비스

BEOL 상호접속들에 대한 이전 층 자체-정렬형 비아 및 플러그 패터닝

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	인텔 코포레이션
출원번호	10-2016-7004758
출원일자	2016-02-23
공개번호	20160603
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	BEOL(back end of line) 상호접속들에 대한 이전 층 자체-정렬형 비아 및 플러그 패터닝이 설명된다.일 예에서, 집적 회로에 대한 상호접속 구조체는 기판 위에 배치되는 제1 층을 포함한다.상호접속 구조체의 제1 층은 제1 방향으로 교호하는 금속 라인들 및 유전체 라인들의 격자를 포함한다.상호접속 구조체의 제2 층이 제1 층 위에 배치된다.제2 층은, 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 교호하는 금속 라인들 및 유전체 라인들의 격자를 포함한다.제2 층의 격자의 각각의 금속 라인은, 상호접속 구조체의 제1 층의 교호하는 금속 라인들 및 유전체 라인들에 대응하는 제1 유전체 재료 및 제2 유전체 재료의 교호하는 구분 영역들로 구성되는 리세싱된 유전체 라인 상에 배치된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167004758
첨부파일

기업조회