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반도체 구조들 및 반도체 구조들의 제조 방법들

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기관명	NDSL
출원인	마이크론 테크놀로지, 인크
출원번호	10-2016-7004727
출원일자	2016-02-23
공개번호	20160407
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반도체 구조들은 교번하는 유전체 재료들 및 제어 게이트들의 스택, 제어 게이트들에 측면에서 인접한 전하 스토리지 구조들, 각각의 전하 스토리지 구조들과 인접한 제어 게이트들 사이의 전하 블럭 재료, 및 교번하는 유전체 재료들 및 제어 게이트들의 스택을 통과하여 연장된 채널 재료를 포함할 수 있다. 스택내 각각의 유전체 재료들은 적어도 두개의 상이한 밀도들의 부분들 및/또는 제거율을 갖는다. 또한 이런 반도체 구조들을 제조하는 방법들이 개시된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167004727
첨부파일

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