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레이저 발진 기구

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기관명	NDSL
출원인	가부시기가이샤 디스코
출원번호	10-2015-0159830
출원일자	2015-11-13
공개번호	20160526
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	[과제] 장치를 대형화하지 않고 음향 광학 소자(AOD)를 이용한 음향 광학 편향 수단에 의해 레이저 광선 발진기가 발진한 레이저 광선의 광축의 각도를 변경할 수 있는 레이저 발진 기구를 제공한다. [해결수단] 레이저 발진 기구로서, 펄스 레이저 광선을 발진하는 펄스 레이저 발진기와, 펄스 레이저 발진기가 발진한 펄스 레이저 광선의 광로의 각도를 변경하는 광로 변경 수단을 포함한다. 광로 변경 수단은, 펄스 레이저 발진기가 발진한 레이저 광선의 광로를 유효 영역에서 변경하는 음향 광학 소자를 이용한 음향 광학 편향 수단과, 음향 광학 편향 수단의 음향 광학 소자에 의해 광로의 각도가 변경된 펄스 레이저 광선 중 배제하고자 하는 펄스 레이저 광선을 유효 영역으로부터 굴절하여 배제하는 체적 회절 격자에 의해 구성되어 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150159830
첨부파일

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