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EUV 마스크 세정 시스템 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
출원번호	10-2018-0002313
출원일자	2018-01-08
공개번호	20180118
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	시스템은 포토마스크를 지지하도록 구성되고 그리고 상기 포토마스크의 제1 측부에 위치되는 브래킷; 메가소닉 주파수 및 파장의 기계적 진동을 포함하는 음향 에너지를 발생시키도록 구성되는 음향 에너지 발생기; 포토마스크의 제2 측부로 지향되는 음향적으로 자극된 유체 스트림을 발생시키기 위해, 상기 음향 에너지 발생기에 의해 발생된 음향 에너지가 유체 분배기에 의해 수용되도록, 음향 에너지 발생기에 결합되는 유체 분배기를 포함하며, 상기 포토마스크의 제1 측부는 포토마스크의 제2 측부와는 반대이고, 상기 제1 측부는 패턴을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020180002313
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