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리소그래피용 광학계 장치

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기관명	NDSL
출원인	한국기계연구원
출원번호	10-2015-0014868
출원일자	2015-01-30
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 목적은 바이오, 광학, 에너지 분야 등에 사용되는 나노 구조체를 광학 리소그래피로 제조함에 있어서, 최소 수십 nm 수준에서 최대 수백 μm 수준까지에 이르는 다양한 3차원 또는 2차원 형상의 제조가 용이하고 효과적으로 이루어질 수 있도록 하는, 리소그래피용 광학계 장치를 제공함에 있다. 보다 구체적으로는, 본 발명의 목적은 상술한 바와 같이 넓은 범위의 레지스트에 좁은 범위로 광을 조사하면서도 전체 두께에 걸쳐 올바르게 광이 조사되도록 하여, 선택적 레지스트 경화 공정의 정밀도 및 정확도를 향상할 수 있도록 하는, 리소그래피용 광학계 장치를 제공함에 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150014868
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