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화상 처리 방법, 화상 처리 장치, 화상 처리 프로그램 및 화상 처리 프로그램을 기억한 기억 매체

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기관명	NDSL
출원인	하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7015056
출원일자	2016-06-07
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	관찰 시스템(101A)에 있어서의 화상 처리 방법은, 반도체 디바이스(S)를 대상으로 측정된 측정 화상 G 1B 와, 측정 화상 G 1B 에 대응하는 반도체 디바이스(S)의 패턴을 나타내는 제1 패턴 화상 G 2B 를 취득하는 스텝과, 반도체 디바이스(S) 혹은 반도체 디바이스(S)와는 다른 반도체 디바이스인 참조용 반도체 디바이스(SR)를 대상으로 측정된 참조용 측정 화상 G 3B 와, 참조용 측정 화상 G 3B 에 대응하는 참조용 반도체 디바이스(SR)의 패턴을 나타내는 제2 패턴 화상 G 4B 를 취득하는 스텝과, 제1 패턴 화상 G 2B 와 제2 패턴 화상 G 4B 에 기초하여, 제1 패턴 화상 G 2B 와 제2 패턴 화상 G 4B 의 상대 관계를 나타내는 매칭 정보를 취득하는 스텝과, 매칭 정보를 기초로, 측정 화상 G 1B 와 참조용 측정 화상 G 3B 의 차분을 구함으로써 비교 화상 G 5B 를 취득하는 스텝을 구비한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167015056
첨부파일

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