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유공 폐쇄막을 이용한 박막 밸브 장치

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2012-0140529
출원일자	2012-12-05
공개번호	20140620
공개일자	2014-09-15
등록번호	10-1439483-0000
등록일자	2014-09-02
권리구분	KPTN
초록	본 발명에 따른 박막 밸브 장치는 생물학적 또는 생화학적 분석에 요구되는 유체를 저장하거나, 생물학적 또는 생화학적 반응을 수행할 수 있는 하나 이상의 챔버, 상기 하나 이상의 챔버를 연결하여 상기 유체의 이동을 가능하게 하는 유로, 상기 유로 상에 연통하도록 배치되는 유공, 상기 유공을 폐쇄하기 위한 유공 폐쇄막, 유공과 유공 폐쇄막으로 구성된 박막 밸브, 적층되어 상기 유로, 유공 및 챔버를 형성하는 복수개의 기질, 상기 적층된 복수개의 기질, 상기 유로, 상기 유공, 상기 챔버, 및 상기 박막 밸브가 집적화된 디스크, 상기 박막 밸브에 열원을 공급하기 위한 열원 장치, 및 상기 열원 장치로부터 공급된 후 상기 유공 폐쇄막을 통과한 열원량을 측정하기 위한 열원 감지기 및 포커싱 액츄에이터를 제어하기 위한 피드백 제어 장치를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020120140529
첨부파일

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