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적응적 국부 역치화 및 색 필터링

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7006041
출원일자	2016-03-07
공개번호	20160422
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	적응적 국부 역치화 및 색 필터링을 사용하여 웨이퍼 상의 결함을 검출하기 위한 방법 및 시스템이 제공된다. 하나의 방법은 검사 시스템을 사용하여 발생된 웨이퍼의 출력에서 픽셀들의 국부 통계를 결정하는 단계와, 상기 국부 통계에 기초하여 어느 픽셀들이 이상치들인지를 결정하는 단계와, 이상치들의 집단에 속하지 않는 이상치들을 결함 후보들로서 식별하기 위해 이상치들을 그 이상치들 주위의 픽셀들과 비교하는 단계를 포함한다. 이 방법은 결함 후보들의 픽셀들과 결함 후보들 주위의 픽셀들 간의 색의 차이에 대한 값을 결정하는 단계를 또한 포함한다. 이 방법은 또한 미리 결정된 값 이상의 색의 차이에 대한 값을 갖는 결함 후보들을 누이상스 결함들로서 식별하는 단계와, 상기 미리 결정된 값 미만의 색의 차이에 대한 값을 갖는 결함 후보들을 실제 결함들로서 식별하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167006041
첨부파일

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