| 초록 |
본 발명은 불소 함유 산화주석 투명전도막 코팅장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대기압에서 균일하게 박막을 기판에 증착시키고, 코팅액을 장시간 보관할 필요가 없어 코팅액이 굳어지는 것을 방지할 수 있는 불소 함유 산화주석 투명전도막 코팅장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 불소 함유 산화주석 투명전도막 코팅장치는 가이드관과, SnCl₄·5H₂O(Tin Chloride Pentahydrate)를 용질, 에탄올을 용매로 하여 0.66~0.69M으로 만들어진 제1용액을 저장하는 제1용액저장부와, NH₄F(Ammonium fluoride)를 용질, 증류수를 용매로 하여 0.950~0.954M의 용액을 만든 후 HOCH₂CH₂OH(Ethyle Glycol)이 0.14~0.18M이 되도록 첨가하여 만들어진 제2용액을 저장하는 제2용액저장부와, 상기 제1용액과 상기 제2용액을 혼합하여 만든 코팅액을 상기 가이드관의 내부에서 상부에서 하부로 분사하는 스프레이노즐수단과, 상기 스프레이노즐수단에서 분사되는 미세입자를 상기 가이드관의 수평방향으로 불기 위한 열풍기와, 상기 열풍기에 의해 이동되는 상기 미세입자가 증착되도록 기판을 장착하여 상기 기판을 200~300℃로 가열 시키는 가열판과, 상기 기판에 증착되는 상기 코팅액이 균일하게 코팅될 수 있도록 상기 기판을 회전시키는 모터를 포함한다. 본 발명에 따른 불소 함유 산화주석 투명전도막 코팅장치 및 방법에 의하면, 미세입자가 상부에서 하부로 분사되고 분사된 미세입자를 열풍기를 사용하여 수평으로 불어서 기판에 균일한 크기의 미세입자만을 기판에 증착시킨다. 그래서 균일한 박막을 형성할 수 있다. 또한, 제1용액과 제2용액을 따로 저장한 후 공정시에만 이를 혼합하여 코팅액으로 만들어 분사시킨다. 그래서 공정시에만 코팅액을 만들어 사용하므로 코팅액을 장시간 보관할 필요가 없어서 코팅액이 굳어지는 것을 방지할 수 있다. |
