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일렉트로스프레이 장치

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기관명	NDSL
출원인	토레이 엔지니어링 컴퍼니, 리미티드
출원번호	10-2016-7015235
출원일자	2016-06-08
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	용액 재료에 인가되는 전압(전류)에 기인하여 송액 구동부가 파손되는 것을 억제하는 것이 가능한 일렉트로스프레이 장치를 제공한다.이 일렉트로스프레이 장치(100)는, 노즐(1)로부터 분무된 용액 재료를, 기판(200)에 박막으로서 퇴적시키는 일렉트로스프레이 장치(100)이며, 용액 재료에 전압을 인가한 상태에서 분무하는 노즐(1)과, 노즐(1)에 용액 재료를 송액하기 위한 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)와, 노즐(1)과 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)의 사이에 설치되고, 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 커플링 본체부(81)를 포함하는 커플링부(8)를 구비하고, 커플링 본체부(81)는 접지되어 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167015235
첨부파일

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