다중 가스 분배 오리피스 플레이트를 갖는 유기 기상 제트 마이크로프린트 헤드
기관명 | NDSL |
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출원인 | 유니버셜 디스플레이 코포레이션 |
출원번호 | 10-2020-0005816 |
출원일자 | 2020-01-16 |
공개번호 | 20200730 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 개시된 청구 대상의 실시양태는 직렬로 연결된 복수의 데포지터를 갖는 선형 어레이를 포함하는 마이크로노즐 어레이를 제공하며, 여기서 복수의 데포지터 중 제1 데포지터는 적어도 하나의 측경계에서 제2 데포지터와 접할 수 있다. 마이크로노즐 어레이는 공급 가스 분배 채널을 통해 흐름을 조절하기 위한 복수의 오리피스 어레이를 포함할 수 있으며, 여기서 복수의 오리피스 어레이 내의 각 오리피스의 폭은 흐름에 대한 횡단면의 단축에 있어 20 ㎛ 이하이다. 마이크로노즐 어레이는 복수의 배기 분배 채널을 포함할 수 있고, 여기서 공급 가스 분배 채널 및 복수의 배기 분배 채널 중 적어도 하나는 각각의 복수의 데포지터와 개별적인 유체 연통을 갖는다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020200005816 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H01L-051/56,B41J-002/03,B41J-002/14,H01L-051/00 |
주제어 (키워드) |