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기하구조 유도 오버레이의 분열 분석 및 개선된 오버레이 제어를 위한 분열 분석의 이용

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2017-7009047
출원일자	2017-04-03
공개번호	20170511
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기하구조 유도 오버레이 에러의 개선된 측정 및 예측을 제공하는 시스템 및 방법이 개시된다. 오버레이 에러의 변화에 관한 정보가 획득되고 반도체 공정 및 리소그래피 패터닝을 개선하기 위해 분석된다. 일부 실시형태에서, 웨이퍼 기하구조 유도 오버레이를 각종 성분으로 분열하기 위해 캐스케이딩 분석 처리가 사용된다. 각종 성분들의 유효 계수를 결정하기 위해 분열 분석이 또한 사용될 수 있고, 이 분열 분석은 웨이퍼 오버레이에서 웨이퍼 기하구조의 충격의 예측 정확도를 개선할 수 있다. 또한, 웨이퍼 기하구조 유도 오버레이 에러의 측정 및/또는 예측이 오버레이 모니터링 및 보정 해법을 제공하기 위해 사용될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020177009047
첨부파일

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