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감소된 기판 입자 생성을 갖는 기판 지지 장치

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7019102
출원일자	2016-07-14
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판을 지지하기 위한 장치의 실시예들이 본원에서 개시된다.몇몇 실시예들에서, 기판을 지지하기 위한 장치는: 지지 표면; 및 지지 표면으로부터 돌출되는 복수의 기판 접촉 엘리먼트들을 포함하고, 복수의 기판 접촉 엘리먼트들은, 실리콘의 경도(hardness)와 동일한 또는 그 미만인 경도를 갖고, 낮은 접착력(adhesion)을 가지며, 슬라이딩을 방지하기에 충분히 큰 정지 마찰 계수(coefficient of static friction)를 갖고, 10 Ra와 동일한 또는 그 미만인 표면 거칠기(surface roughness)를 가지며, 전기 전도성인 재료로 형성된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019102
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