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특허 실용신안

반도체 다층박막의 두께 측정장치 및 그 방법

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기관명	NDSL
출원인	미쓰비시덴키 가부시키가이샤
출원번호	10-1994-0014067
출원일자	1994-06-21
공개번호	20080509
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반사광의 파동수 분산(파장분포)스펙트럼의 막간섭파형은 공간간섭파형의 파형분석으로부터 얻어진 반도체장치의 각 막두께의 측정된 값을 초기값으로 하여서 이론간섭스펙트럼계산수단에 의해 광학특성행렬을 이용하는 수치계산으로부터 얻어지고, 이러한 계산된 값은 재계산수단에 의해 실질적으로 측정된 값을 갖는 파형조작에 필요로 하며, 그리고 상기 이론간섭스펙트럼은 상기 막두께의 근사값을 의도적으로 변경하는 동안에 재계산되어, 고정밀도의 각 막두께가 구현된다. 서브마이크론내에서 다층박막의 각 층의 막두께가 비파괴적으로 정확하게 측정될 수 있고 또한 어떠한 접촉없이 안정되게 측정될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1019940014067
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