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묘화 데이터 생성 방법, 멀티 하전 입자빔 묘화 장치 및 패턴 검사 장치

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
출원번호	10-2015-0134579
출원일자	2015-09-23
공개번호	20160422
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	일 실시 형태에 의한 묘화 데이터 생성 방법은, 멀티 하전 입자빔 묘화 장치에서 이용되는 묘화 데이터를 생성하는 것이다. 이 방법은, 설계 데이터에 포함되어 있는 다각형 도형을, 각각 1 조의 대변(對邊)이 제1 방향을 따라 평행하고, 당해 제1 방향과 평행한 변을 공통변으로서 당해 제1 방향과 직교하는 제2 방향을 따라 연결하는 복수의 사다리꼴 도형을 포함하는 복수의 도형으로 분할하고, 제1 사다리꼴과 당해 제1 사다리꼴에 인접하는 제2 사다리꼴과의 공통의 정점의 위치를, 당해 제2 사다리꼴과 당해 제2 사다리꼴에 인접하는 제3 사다리꼴과의 공통의 정점의 위치로부터의 당해 제1 방향 및 당해 제2 방향의 변위로 표현하여, 당해 묘화 데이터를 생성한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150134579
첨부파일

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