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레이저 가공 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시기가이샤 디스코
출원번호	10-2015-0134496
출원일자	2015-09-23
공개번호	20160414
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 어블레이션 가공을 효율적으로 실시할 수 있는 레이저 가공 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 레이저 가공 장치로서, 펄스 레이저 발진기와 집광기 사이에 배치되어 펄스 레이저 발진기로부터 발진된 펄스 레이저 광선의 광로를 요동하여 집광기로 유도하는 광로 요동 수단을 포함한다. 광로 요동 수단은, 집광기측에 배치되어 펄스 레이저 발진기로부터 발진된 펄스 레이저 광선을 스캔하여 집광기로 유도하는 폴리곤 스캐너와, 폴리곤 스캐너의 펄스 레이저 발진기측에 배치되어 펄스 레이저 발진기로부터 발진된 펄스 레이저 광선의 광로의 방향을 변경하여 폴리곤 스캐너로 유도하는 음향 광학 편향 유닛을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150134496
첨부파일

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