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레이저 광원으로부터 메인펄스와 프리펄스 빔을 분리하는 시스템 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2014-7036609
출원일자	2014-12-26
공개번호	20150226
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	각각 공통 빔 경로를 횡단하는, 프리펄스 레이저 빔으로부터 메인펄스 레이저 빔을 분리하기 위한 이색성 빔 스플리터 모듈이 개시된다.하나의 실시예에서, 2개의 이색성 엘리먼트가 빔 경로를 따라서 물리적으로 정렬되고, 제1 파장을 가진 프리펄스, 레이저 광을 조사위치 근방에 위치된 타겟 재료로 통과시키지만, 제1 파장을 가진 메인펄스, 레이저 광은 반사하도록 구성된다.반사된 메인펄스는 그런 다음 제1 이색성 엘리먼트로부터 제2 이색성 엘리먼트로 2개의 반사 엘리먼트 또는 미러에 의해 더 반사되고, 그런다음 조사 위치 상으로 반사된다.대안의 실시예에서, 제1 미러는 반사된 메인펄스 빔의 빔 특성을 변경시키기 위해 가변적이고, 제2 미러는 조사 위치로 메인펄스를 정렬시키기 위해 조정가능하다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147036609
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