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기판의 표면을 분석하기 위한 장치

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기관명	NDSL
출원인	쌩-고벵 글래스 프랑스
출원번호	10-2016-7021636
출원일자	2016-08-08
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 측정되는 기판의 표면과 대면하는 기준 패턴(10), 측정되는 기판에 의해 왜곡되는 기준 패턴의 적어도 하나의 이미지를 포착하기 위한 카메라(3), 기준 패턴 조사 시스템(4) 및 카메라(3)에 연결된 이미지 처리/디지털 분석 수단(5)을 포함하는 기판(2)의 투명 또는 경면 표면을 분석하기 위한 장치(1)에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 카메라(3)는 매트릭스 카메라이고, 기준 패턴(10)은 직사각형 형상의 지지부(11) 상에 위치되고, 제1 방향을 따라 그리고 지지부의 더 짧은 연장부를 따라 놓인 제1 패턴(10a) - 이러한 제1 패턴은 짧은 연장부에 대해 횡방향으로 주기적임 - 및 제1 패턴에 대해 직교하는 제2 방향을 따라 그리고 지지부의 더 긴 연장부를 따라 놓인 제2 패턴(10b)으로 구성되는 2-방향성이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167021636
첨부파일

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