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분해 검출 장치, 농도 측정 장치 및 농도 제어 장치

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 호리바 에스텍
출원번호	10-2015-0166223
출원일자	2015-11-26
공개번호	20160616
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	간이한 구성이면서 반도체 재료가 기화한 재료 가스 중에 있어서 분해가 발생해 있는지 여부를 검출할 수 있는 분해 검출 장치를 제공한다. 반도체 재료가 기화한 재료 가스를 포함하는 혼합 가스에 대해서, 상기 반도체 재료가 흡수하는 파장의 흡광도인 제1 흡광도와, 상기 반도체 재료가 분해되었을 때 생기는 물질이 흡수하는 파장의 흡광도인 제2 흡광도를 측정하는 NDIR 방식 또는 레이저 흡수 분광 방식의 흡광도 측정 기구(1)와, 상기 제1 흡광도와 상기 제2 흡광도에 기초하여 산출되는 제1 농도와 상기 제2 흡광도에 기초하여 산출되는 제2 농도의 비에 기초하여, 상기 재료 가스의 분해를 검출하는 분해 검출부(4)를 구비했다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150166223
첨부파일

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