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반도체 제조에서 재고 관리를 위한 방법 및 우선 순위 시스템

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기관명	NDSL
출원인	와퍼테크, 엘엘씨
출원번호	10-2015-0166791
출원일자	2015-11-26
공개번호	20160609
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반도체 제조에 사용하기 위한 재고 추적 시스템 및 방법은, 기판의 로트가 실행되어야 하는 순서를 결정하는 우선 순위 점수를 생성하는 것을 제공한다.우선 순위 점수는 외부 로트 우선 순위 고려 사항, 제조 시설물에서의 재고 인자 및 처리 도구 능력 인자를 고려한 알고리즘을 이용하여 생성된다.처리 도구 능력 인자는 도구 상태 및 도구 제한과 관련된 인자를 포함하고, 재고 인자는 라인 균형, WIP(work-in-progress) 예보 및 다양한 다운스트림 고려 사항과 관련된 인자를 포함한다.우선 순위 점수는 동적으로 생성되고, 지정된 동작에서 처리를 위해 대기 행렬되는 각 로트에 대한 각 처리 동작에서 표시된다.다양한 알고리즘이 사용되고, 서로 다른 가중치가 우선 순위 점수를 생성하기 위해 조합하는 여러 인자에 대한 수치 값을 계산할 시에 많은 인자에 할당된다.생성된 우선 순위 점수는 도구 특정 또는 모듈 특정 점수일 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150166791
첨부파일

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