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성막 장치 및 성막 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 고베 세이코쇼
출원번호	10-2015-7032260
출원일자	2015-11-11
공개번호	20151217
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	자석 유닛과 타깃재를 바꾸는 것만으로, 기재의 사이즈 변경에 대응할 수 있는 성막 장치를 제공한다.본 발명의 성막 장치(1)는, 기재 W의 정면에 대향하는 증발원(2)을 사용하고, 반송되는 기재 W의 표면에 성막을 행하는 것으로써, 증발원(2)이 타깃재(7)와 백킹 플레이트(8)와 자석 유닛(9)과 캐소드 보디(10)와, 냉각수 유로(12)를 갖는다.냉각수 유로(12)는, 자석 유닛(9)과 백킹 플레이트(8)가 이격되어 이루어지는 공간이며 이 공간을 냉각수가 유통 가능하다.자석 유닛(9)으로서 기재 W보다도 협폭으로 이루어진 협폭 기재에 대응해서 짧은 사이즈 것이 배치 가능하게 되고, 타깃재(7)로서, 배치된 자석 유닛(9)의 폭에 대응해서 짧은 사이즈의 것이 배치되어 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157032260
첨부파일

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