기업조회

본문 바로가기 주메뉴 바로가기

특허/실용신안

조명 장치, 조명 방법, 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법

특허 실용신안 개요

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명 NDSL
출원인 가부시키가이샤 니콘
출원번호 10-2016-7020176
출원일자 2016-07-22
공개번호 20160808
공개일자 0000-00-00
등록번호
등록일자 0000-00-00
권리구분 KUPA
초록 본 발명은 조명 동공면에 다중레벨의 광 강도 분포를 선택적으로 형성할 수 있는 구조를 갖는 조명 장치에 관한 것이다.조명 장치는 광원으로부터의 빛에 근거하여 조명 동공면에 형성된 소정의 광 강도 분포를 광원으로서 사용하여 피조사면에 쾰러 조명을 실행한다.조명 장치는 공간 광변조기, 집광 광학계 및 제어 유닛을 구비한다.공간 광변조기는 이차원적으로 배열되고 그 자세가 서로 독립적으로 제어되는 복수의 반사면을 구비한다.집광 광학계는 반사면들로부터의 빛을 집광하여, 조명 동공면에 소정의 광 강도 분포를 형성한다.제어 유닛은 조명 동공면에 형성하고자 하는 광 강도 분포에 따라서 광 강도 분포를 형성하는 조명 동공면상의 각각의 지점에 도달하는 빛에 기여하는 반사면의 수를 제어한다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020176
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE F21V-008/00,G02B-026/08,G02B-027/09,G02B-027/18,G03F-007/20
주제어 (키워드)