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화학적 기계적 평탄화를 위한 금속 산화물-중합체 복합 입자

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기관명	NDSL
출원인	캐보트 코포레이션
출원번호	10-2016-7019130
출원일자	2016-07-15
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	CMP 공정, 도구 및 슬러리는 금속 산화물 입자 및 중합체 코어를 포함하는 금속 산화물-중합체 복합 입자를 사용한다.금속 산화물 입자는 개질제로 개질되고 중합체 코어 내에 부분적으로 또는 완전히 매립된다.이들 공정, 도구 및 슬러리를 사용하면 필적할만한 시스템 및 기재에 비해 제거율을 향상시키고 결함률을 감소시키고 세정성을 증진시킬 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019130
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