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기상 증착 장치

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기관명	NDSL
출원인	한국과학기술원
출원번호	10-2014-0051826
출원일자	2014-04-29
공개번호	20151112
공개일자	2015-11-06
등록번호	10-1563341-0000
등록일자	2015-10-20
권리구분	KPTN
초록	본 발명의 실시 형태에 따른 기상 증착 장치는, 기판이 배치된 챔버(chamber); 상기 챔버의 공정 온도를 조절하는 온도 조절부; 상기 기판 또는 무기막 상에 유기막을 증착시키는 유기막 증착부; 상기 기판 또는 유기막 상에 무기막을 증착시키는 무기막 증착부; 및 상기 챔버와 연결되고, 상기 챔버 내의 공정 압력을 조절하는 압력 조절부; 를 포함하고, 상기 유기막 및 상기 무기막이 하나의 상기 챔버 내에서 증착물의 이동, 진공 상태의 변화없이 다중 복합 유무기막을 형성시킨다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020140051826
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